Electron-beam, X-ray, and ion-beam technology: submicrometer lithographies VIII - 1-3 March 1989, San Jose, California
- Författare
- (Arnold W. Yanof, chair/editor.)
- Genre
- Konferenspublikation
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Cop. 1989 | USA | 388 sidor. |